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鑫藍(lán)環(huán)保硅烷廢氣處理方式及工藝流程

文章出處:鑫藍(lán)環(huán)保鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)網(wǎng)責(zé)任編輯:蔡作者:蔡人氣:-發(fā)表時(shí)間:2022-11-02 00:00:00【

 一、硅烷廢氣處理工藝概述

硅烷即硅與氫的化合物,是一系列化合物的總稱,包括甲硅烷、乙硅烷和一些硅氫化合物硅烷廢氣處理采用燃燒+洗滌法凈化硅烷氣體,系統(tǒng)內(nèi)包含:硅烷廢氣燃燒設(shè)備+濾筒除塵器+噴淋塔。主要用于單晶硅、多晶硅行業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的硅烷廢氣處理

 

二、工作原理

工作原理是硅烷與輸入的壓縮空氣或新風(fēng)補(bǔ)氣口補(bǔ)入的空氣接觸而自燃或發(fā)生氧化反應(yīng),反應(yīng)后生成大量的二氧化硅粉塵;氨氣采用洗滌塔噴淋吸收形成氨水。內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置,即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作,同時(shí)配備了氮?dú)馊肟冢哟罅嗽O(shè)備的安全性。

在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法,沉積下來的粉塵通過排渣口排出,這使粉塵收集處理變得更容易、更有效,后續(xù)工藝還配套了濾筒除塵技術(shù),進(jìn)一步去除氧化硅粉塵,提升粉塵的治理效率。

三、用途

主要適用于太陽(yáng)能、光伏行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)及CVD化學(xué)氣體沉積工藝中產(chǎn)生的硅烷廢氣處理

  

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