- [鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]光伏電池廢氣處理工藝-鑫藍(lán)昆山[ 2025-04-16 00:00 ]
- 光伏電池生產(chǎn)過程中的廢氣主要來源于制絨、擴(kuò)散、刻蝕、PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)等工序,成分復(fù)雜,包含酸性氣體(HCl、HF)、氮氧化物(NOx)、揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)、硅粉顆粒物等。處理需兼顧高效凈化與成本控制,以下為光伏電池廢氣處理綜合方案: 一、廢氣成分及排放標(biāo)準(zhǔn) 主要污染物: 酸性氣體:HCl(氯化氫)、HF(氟化氫)。 氮氧化物:NO、NO?。 VOCs:
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